[发明专利]微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法有效
| 申请号： | 201910056987.1 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN109781034B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 金涛;韩梦莹;侯文玫 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/27;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法，其通过采用双频激光光源发出的光经Koster棱镜将其分为两束频率不同、振动方向不同的光，两束光通过四分之一波片、楔面棱镜、楔面反射镜后汇聚从Koster棱镜另一面射出后，经角隅棱镜反射的光束经过分光棱镜BS，其中一束直接进入Koster棱镜返回测量系统中，另一束经直角棱镜和二分之一波片后进入Koster棱镜返回测量系统中。同时，将滚转角的旋转转化为光路的旋转，计算通过楔面棱镜的六束光的关系获得滚转角误差和直线度误差。本发明提供的方法，能够实现微小滚转角与直线度同步高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 转角 直线 同步 高精度 测量 干涉仪 以及 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪，其包括：依次排列而处于同一光轴上的koster棱镜(2)、四分之一波片(3)、楔面棱镜(4)、楔面反射镜(5)；所述koster棱镜(2)由大小对称的直角三棱镜组成，两个直角三棱镜的直角边长度相等的平面相互胶合，胶合面上镀有一层偏振分光膜PBS；其特征在于，还包括：双频激光光源(1)、分光棱镜BS(6)、三角棱镜(7)、二分之一波片(8)、角隅棱镜(9)、相位计(36)、起偏器(37)、光电检测器(38)；所述双频激光光源(1)设置于第一直角三棱镜(2a)的斜面一侧，所述角隅棱镜(9)设置于第二直角三棱镜(2b)的斜面一侧，所述分光棱镜BS(6)设置于角隅棱镜(9)以及第二直角三棱镜(2b)之间，所述三角棱镜(7)设置于角隅棱镜(9)下部，所述二分之一波片(8)设置于三角棱镜(7)朝向第二直角三棱镜(2b)一侧；所述相位计(36)设置于第一直角三棱镜(2a)的斜面一侧而用于测量直线度和滚转角，所述起偏器(37)、光电检测器(38)依次布置于相位计(36)与第一直角三棱镜(2a)之间。
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