[发明专利]臭氧产生装置和臭氧产生方法在审
申请号: | 201880090559.4 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN111788150A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 山川达也;吉村昌也;藤田凉 | 申请(专利权)人: | 住友精密工业株式会社 |
主分类号: | C01B13/11 | 分类号: | C01B13/11 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 金杨;李雪 |
地址: | 日本兵库县*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 臭氧产生装置包括:第一流路,设有向氧气赋予水分的加湿部,并且以使通过了加湿部的氧气流出的方式构成;第二流路,以使水分量为10ppb以下的氧气流出的方式构成;合流路,经第一流路流出的氧气和经第二流路流出的氧气在该合流路进行合流;臭氧产生器,以在合流路合流后的混合氧气作为原料产生臭氧气体;和流量比调节部,对从第一流路向合流路流出的氧气的流量与从第二流路向合流路流出的氧气的流量的比率进行调节。 | ||
搜索关键词: | 臭氧 产生 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友精密工业株式会社,未经住友精密工业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201880090559.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:不愉快状态判定装置
- 下一篇:安装装置以及安装装置的控制方法