[发明专利]等离子体处理机有效
| 申请号： | 201880080002.2 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111480393B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 池户俊之;神藤高广 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了提供实用的等离子体处理机而设置安装机构(50)，该安装机构(50)用于将等离子体头(14)安装于使该离子体头移动的移动装置的安装部(52)。由于能够拆装等离子体头，所以例如容易更换为不同类型的等离子体头，或者进行用于维护的拆卸、维护后的安装等。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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