[发明专利]光检查装置及光检查方法有效
| 申请号： | 201880075330.3 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111406206B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 笠原隆;柴山胜己;广瀬真树;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01J3/26;G01N21/956;G02B26/00;B81B3/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑；光出射部，其使沿基线入射至多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及光检测部，其检测沿基线透过多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光。晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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