[发明专利]用于带电粒子束检查的样本预充电方法和设备有效
| 申请号： | 201880063509.7 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111164725B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘学东;席庆坡;蒋友飞;任伟明;胡学让;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/04;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种设备，该设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；开孔；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于开孔处于上游。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 检查 样本 充电 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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