[发明专利]排放气体副产物测量系统在审
| 申请号： | 201880056746.0 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN111033232A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·赛拉迪;吕克·阿尔巴雷德;亚辛·卡布兹;爱德华·J·麦金纳尼;萨珊·罗汉姆 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/05;G01N33/00;G02B5/08 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种排放气体副产物的测量系统。气体腔室被构造成用于接收来自所述排放输出口的排放物。光源、光检测器和至少一个光学元件被定位成使得来自所述光源的光束在到达所述光检测器之前被导向至所述至少一个光学元件多次。至少一个加热器向所述至少一个光学元件提供热量。多个吹扫气体喷嘴与所述光学腔流体连接。高流量管线流体连接在吹扫气体源和所述多个吹扫气体喷嘴之间。低流量管线流体连接在所述吹扫气体源和所述多个吹扫气体喷嘴之间。至少一个流量控制器管理包含高流量及低流量的多个流率。 | ||
| 搜索关键词： | 排放 气体 副产物 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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