[实用新型]用于下降法晶体生长的承托机构有效
申请号: | 201822237525.3 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209276670U | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 魏建德;方声浩;佘建军;叶宁;张志诚 | 申请(专利权)人: | 厦门中烁光电科技有限公司;中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 北京慧智兴达知识产权代理有限公司 11615 | 代理人: | 韩龙;刘宝山 |
地址: | 361000 福建省厦门市集美区*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于下降法晶体生长的承托机构,包括下降炉,下降炉内设置有承托碗,承托碗为空心圆柱形,承托碗的一端与托杆固定相连,托杆与下降装置相连;承托碗的另一端容置有坩埚,坩埚与承托碗的间隙填充有低导热材料,下降装置可通过托杆带动坩埚在下降炉内上下移动。本实用新型的用于下降法晶体生长的承托机构结构简单,设计巧妙,可以适应不同尺寸的坩埚,克服了以往需要根据不同坩埚尺寸加工不同承托装置的缺点,同时采用采用氧化锆球填充,使坩埚内温场稳定,生长的晶体内应力小,有利于提高晶体的质量。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 承托 承托机构 晶体生长 下降法 下降炉 托杆 本实用新型 下降装置 低导热材料 空心圆柱形 承托装置 固定相连 间隙填充 上下移动 氧化锆球 晶体的 容置 温场 填充 生长 加工 | ||
【主权项】:
1.一种用于下降法晶体生长的承托机构,其特征在于,包括下降炉,下降炉内设置有承托碗,承托碗为空心圆柱形,承托碗的一端与托杆固定相连,托杆与下降装置相连;承托碗的另一端容置有坩埚,坩埚与承托碗的间隙填充有低导热材料,下降装置可通过托杆带动坩埚在下降炉内上下移动。
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