[实用新型]化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头有效
| 申请号： | 201822188431.1 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209615159U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 申盛皓;孙准晧 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头，包括：承载头本体；隔膜，其加装于承载头本体的下面；卡环，包括卡环主体和引导凸起，所述卡环主体隔开地配置于隔膜的外侧面，所述引导凸起在卡环主体的内面凸出形成。承载头本体包括：本体部，其与驱动轴连接并旋转；底座部，其与本体部连接并一同旋转。本体部上端结合于驱动轴并进行旋转驱动。隔膜包括：底板，侧面，多个环形态的隔壁，其在底板的中心与侧面之间，结合于底座部；在隔膜与底座部之间，形成有被隔壁分割的多个压力腔。在多个压力腔，可以提供用于分别测量压力的压力传感器。各压力腔的压力可以按照压力控制部的控制而单独地得到调节。 | ||
| 搜索关键词： | 承载头 卡环 隔膜 底座部 压力腔 底板 机械式研磨 引导凸起 驱动轴 隔壁 本实用新型 压力传感器 压力控制部 凸出 测量压力 旋转驱动 侧面 单独地 外侧面 上端 加装 内面 分割 配置 | ||
【主权项】：
1.一种承载头，作为在化学机械式研磨工序中将基板加压于研磨垫的承载头，其特征在于，包括：承载头本体；隔膜，其加装于所述承载头本体的下面，将所述基板加压于所述研磨垫；卡环，其包括在所述隔膜的外侧面隔开地配置的卡环主体、在所述卡环主体的内面凸出形成的引导凸起，结合于所述承载头本体，约束所述基板的侧面。
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