[实用新型]湿度传感器及湿敏材料有效
申请号: | 201822140580.0 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN209894748U | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 冯雪;司俊杰;闫宇;陈颖 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22 |
代理公司: | 31264 上海波拓知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李萌 |
地址: | 314000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种湿度传感器及湿敏材料,该湿度传感器包括衬底层、第一电极、第二电极及湿敏材料,所述第一电极及所述第二电极间隔地设置于所述衬底层上,所述湿敏材料填充于所述第一电极与所述第二电极之间,所述湿敏材料为气凝胶结构的湿敏材料。该湿度传感器具有较快的响应速度。 | ||
搜索关键词: | 湿敏材料 湿度传感器 第二电极 第一电极 衬底层 气凝胶结构 填充 响应 | ||
【主权项】:
1.一种湿度传感器,其特征在于:包括衬底层、第一电极、第二电极及湿敏材料,所述第一电极及所述第二电极间隔地设置于所述衬底层上,所述湿敏材料填充于所述第一电极与所述第二电极之间,所述湿敏材料为气凝胶结构的湿敏材料。/n
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