[发明专利]一种湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410849515.9 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104458835B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 左青云;康晓旭;李铭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种湿度传感器及其制备方法，包括表面绝缘的衬底，位于绝缘表面的湿敏材料和叉指电极薄膜层，湿敏材料分布于叉指电极之间，且与叉指电极相键联；湿敏材料为叉指电极材料的氧化态。还提供了湿度传感器的制备方法，包括提供一表面绝缘的衬底；在绝缘表面形成一层氧化态湿敏材料；在湿敏材料表面形成叉指电极图案掩膜；在叉指电极图案掩膜的保护下，对湿敏材料进行还原工艺，在湿敏材料间形成叉指电极；叉指电极图案掩膜遮挡住的湿敏材料部分未被还原，叉指电极图案掩膜暴露的湿敏材料部分被还原成叉指电极材料；去除叉指电极图案掩膜。从而有利于制备出较薄氧化石墨烯湿度传感器，提高湿度传感器灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种湿度传感器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底的表面绝缘；湿敏材料和叉指电极薄膜层，其位于所述绝缘表面，湿敏材料和叉指电极薄膜层包括并行排布的湿敏材料和叉指电极，所述湿敏材料分布于所述叉指电极侧壁之间，且所述湿敏材料的侧壁与所述叉指电极侧壁相键联，湿敏材料和叉指电极的厚度一致；其中所述湿敏材料为所述叉指电极材料的氧化态；湿敏材料为氧化态，叉指电极通过将氧化态湿敏材料还原得到。
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