[实用新型]一种制备碳碳复合产品的装置有效

专利信息
申请号: 201822025473.3 申请日: 2018-12-04
公开(公告)号: CN209024639U 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 李海成;周国平 申请(专利权)人: 保山隆基硅材料有限公司
主分类号: C23C16/24 分类号: C23C16/24;C23C16/455;C23C16/54
代理公司: 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 代理人: 李博
地址: 678014 云南*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型涉及一种制备碳碳复合产品的装置,包括下封气盘、限气筒、引气管、上封气盘,所述下封气盘位于限气筒的底部,上封气盘位于限气筒的顶部,所述上封气盘的中心设有承孔,所述引气管位于限气筒内部,所述引气管顶部与上封气盘的承孔间隙配合,所述引气管上还设置若干气孔。还包括若干碳纤维织物,所述若干碳纤维织物堆叠于限气筒内部,与所述下封气盘、限气筒、引气管、上封气盘同轴。本实用新型采用的设计使进入限气筒的气体形成狭缝流,提高沉积效率,缩短了沉积周期,降低了生产成本,提高了装炉量,提高了单炉产量、提高了成品率。
搜索关键词: 封气盘 气筒 引气管 本实用新型 碳纤维织物 复合产品 承孔 碳碳 制备 沉积效率 间隙配合 气体形成 成品率 狭缝流 装炉量 单炉 堆叠 同轴 沉积 生产成本
【主权项】:
1.一种制备碳碳复合产品的装置,其特征在于,所述装置包括下封气盘(1)、限气筒(2)、引气管(3)及上封气盘(4),其中,所述下封气盘(1)位于所述限气筒(2)的底部,所述上封气盘(4)位于所述限气筒(2)的顶部,所述上封气盘(4)的中心设有承孔(41),所述引气管(3)位于所述限气筒(2)内部,所述引气管(3)的顶部与所述上封气盘(4)的承孔(41)间隙配合;所述引气管(3)上设置若干气孔;若干碳纤维织物(5)可堆叠于所述限气筒(2)内部,与所述下封气盘(1)、限气筒(2)、引气管(3)及上封气盘(4)同轴。
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