[实用新型]晶体生长炉气氛循环过滤系统

摘要

本实用新型公开了一种晶体生长炉气氛循环过滤系统，包括炉体、过滤器、流量计和气泵，所述炉体上设有位于炉体顶部的排气口和位于炉体底部的进气口，所述炉体的排气口处设有第一气阀，所述炉体的进气口处设有第二气阀，所述第一气阀的排气口经气管与过滤器的进气口连通，所述过滤器的排气口经气管与流量计的进气口连通，所述流量计的排气口经气管与气泵的进气口连通，所述气泵的排气口经气管与第二气阀的进气口连通。本实用新型中利用过滤器将晶体生长过程中产生的挥发物质滤掉，让晶体生长始终在洁净的气氛下进行，减少了挥发物质对坩埚内熔体的污染，提高了晶体质量。

主权项

1.晶体生长炉气氛循环过滤系统，其特征在于，包括炉体（1）、过滤器（4）、流量计（5）和气泵（6），所述炉体（1）上设有位于炉体（1）顶部的排气口和位于炉体（1）底部的进气口，所述炉体（1）的排气口处设有第一气阀（2），所述炉体（1）的进气口处设有第二气阀（3），所述第一气阀（2）的排气口经气管与过滤器（4）的进气口连通，所述过滤器（4）的排气口经气管与流量计（5）的进气口连通，所述流量计（5）的排气口经气管与气泵（6）的进气口连通，所述气泵（6）的排气口经气管与第二气阀（3）的进气口连通。