[实用新型]一种金属有机化合物供料控制系统有效
| 申请号： | 201821835207.0 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209010596U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 白月东;周允红;杨炜平;杨丽丽;朱亚安;谭懿嵘;吴刚 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/18 | 分类号： | C23C16/18;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种金属有机化合物供料控制系统，包括金属有机化合物存储罐，其特征在于该金属有机化合物存储罐顶部同时与载气管道与输出管道连通，载气管道上依次向外设置进气手动阀、单向止回阀、一号三通气动阀和二号三通气动阀、电动压力调节器、载气纯化系统和载气颗粒过滤系统；二号三通管道同时还与真空管道连接；输出管道上依次向外设置出气手动阀、三号三通气动阀、气动阀以及反应腔室；三号三通气动阀与一号三通气动阀相互连通。该系统解决了载气携带颗粒杂质、水汽和氧气等导致的管道堵塞以及工艺产品质量问题。 | ||
| 搜索关键词： | 三通气动阀 金属有机化合物 载气 供料控制系统 输出管道 存储罐 连通 半导体制造技术 颗粒过滤系统 本实用新型 出气手动阀 单向止回阀 进气手动阀 调节器 纯化系统 电动压力 反应腔室 工艺产品 管道堵塞 颗粒杂质 三通管道 载气管道 真空管道 质量问题 水汽 气动阀 载气管 氧气 携带 | ||
【主权项】：
1.一种金属有机化合物供料控制系统，包括金属有机化合物存储罐(1)，其特征在于该金属有机化合物存储罐(1)顶部同时与载气管道(2)与输出管道(3)连通，其中：载气管道(2)延伸至有机化合物存储罐(1)底部上方，载气管道(2)依次向外设置进气手动阀(4)、单向止回阀(5)、一号三通气动阀(6)和二号三通气动阀(7)、电动压力调节器(8)、载气纯化系统(9)和载气颗粒过滤系统(10)；二号三通管道同时还与真空管道(11)连接，真空管道(11)上设置有气动阀；输出管道(3)上依次向外设置出气手动阀(12)、三号三通气动阀(13)、气动阀以及反应腔室(14)；三号三通气动阀(13)与一号三通气动阀(6)相互连通。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
