[实用新型]一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架有效
申请号: | 201821782487.3 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN209194039U | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 李启炎 | 申请(专利权)人: | 杭州云度新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 杭州永绎专利代理事务所(普通合伙) 33317 | 代理人: | 许传秀 |
地址: | 311402 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘、顶层公转盘、轴套、心轴、定位盖、锁紧盖和垫圈;所述底层公转架设有固定盘、固定柱和凹台;所述顶层公转盘上设有加强筋;所述轴套上设有安装盘和台阶;所述心轴两端设有外螺纹,所述心轴底端设有定位块。本实用新型结构简单,拆装方便,采用双层设计,大大提高了效率,节省了时间和成本。 | ||
搜索关键词: | 公转盘 多弧离子镀膜 本实用新型 顶层 镀膜 心轴 轴套 模具 拆装方便 双层设计 心轴两端 安装盘 定位盖 定位块 固定盘 固定柱 加强筋 锁紧盖 外螺纹 凹台 底端 垫圈 架设 | ||
【主权项】:
1.一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征包括底层公转盘、顶层公转盘、轴套、心轴、定位盖、锁紧盖和垫圈;所述底层公转架设有固定盘、固定柱和凹台,所述顶层公转盘上设有加强筋;所述轴套上设有安装盘和台阶;所述心轴底端设有外螺纹,所述心轴底端设有定位块。
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