[实用新型]一种传输装置有效
| 申请号： | 201821738375.8 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN208923073U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张虎威 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气相外延设备技术领域，尤其涉及传输装置，包括传输组件和调整组件，传输组件包括腔室和位于腔室内用于输送载板的传送件，调整组件沿载板的传输方向设置于腔室的内侧壁上；调整组件包括调整轮和调整轮支撑台，调整轮支撑台与腔室的内侧壁通过第一连接件可拆卸连接，调整轮设置于调整轮支撑台上。本实用新型结构简单可靠，可有效保证载板传输方向的一致性和调整轮位置的调整性，由原来不可调式的结构优化为可调式，同时也增加了后续载板传输方向的可调节性，在腔室主要为载板进入MOCVD工艺环境时保证传输的精确性与稳定性，对实现和保证设备的高产能具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 调整轮 腔室 调整组件 本实用新型 传输装置 传输组件 载板传输 内侧壁 支撑台 载板 气相外延设备 第一连接件 可拆卸连接 传输方向 工艺环境 结构优化 可调节性 输送载板 重要意义 传送件 可调式 保证 高产 室内 传输 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种传输装置，其特征在于：包括传输组件和调整组件，所述传输组件包括腔室和位于所述腔室内用于输送载板的传送件，所述调整组件沿所述载板的传输方向设置于所述腔室的内侧壁上；所述调整组件包括调整轮和调整轮支撑台，所述调整轮支撑台与所述腔室的侧壁通过第一连接件可拆卸连接，所述调整轮设置于所述调整轮支撑台上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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