[实用新型]一种用于半导体材料测试的四探针测试仪

摘要

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其是一种用于半导体材料测试的四探针测试仪，包括底座，底座的底部设有支撑柱，底座上设有竖杆，竖杆上设有安装支座，安装支座上设有调节螺杆，安装支座的一侧设有滑动板，滑动板的一端设有限位块，安装支座内设有卡槽，滑动板的一端设有固定支座，固定支座的两侧均设有第一连接杆，第一连接杆的一端设有第二连接杆，固定支座上设有第一转轴，第一转轴上设有齿轮和转动钮，第一转轴的一侧设有第二转轴，第二转轴上设有弧形板，弧形板上设有齿条，弧形板的一端设有探头，探头上设有接线头，探头的下方设有单晶段，底座上设有显示器，显示器接口端连接有导线。本实用新型的实用性强，值得推广。

主权项

1.一种用于半导体材料测试的四探针测试仪，包括底座(1)，所述底座(1)的底部设有若干支撑柱(2)，所述支撑柱(2)均与底座(1)固定连接，所述底座(1)的顶部设有竖杆(4)，所述竖杆(4)固定连接在底座(1)上，所述竖杆(4)上设有安装支座(3)，所述安装支座(3)卡接在竖杆(4)上，所述安装支座(3)的侧壁上设有调节螺杆(5)，所述调节螺杆(5)贯穿安装支座(3)的侧壁且与竖杆(4)螺纹连接，其特征在于，所述安装支座(3)的顶部的一侧设有滑动板(6)，所述滑动板(6)卡接在安装支座(3)的内部且与安装支座(3)滑动连接，所述滑动板(6)位于安装支座(3)的一端设有限位块(61)，所述限位块(61)固定连接在滑动板(6)上，所述安装支座(3)内设有与限位块(61)相匹配的卡槽(31)，所述限位块(61)卡接在卡槽(31)内且与卡槽(31)滑动连接，所述滑动板(6)远离安装支座(3)的一端设有固定支座(7)，所述固定支座(7)固定连接在滑动板(6)上，所述固定支座(7)的两侧均设有第一连接杆(11)，两个所述第一连接杆(11)的一端均通过销轴与固定支座(7)转动连接，两个所述第一连接杆(11)远离固定支座(7)的一端均设有第二连接杆(12)，两个所述第二连接杆(12)的一端通过销轴与相对应的第一连接杆(11)转动连接，两个所述第二连接杆(12)远离相对应的第一连接杆(11)的一端均通过销轴与安装支座(3)转动连接，所述固定支座(7)上设有第一转轴(81)，所述第一转轴(81)与固定支座(7)转动连接，所述第一转轴(81)的底端设有齿轮(8)，所述齿轮(8)固定连接在第一转轴(81)上，所述第一转轴(81)的顶端设有转动钮(9)，所述转动钮(9)固定连接在第一转轴(81)上，所述第一转轴(81)的一侧设有第二转轴(101)，所述第二转轴(101)与固定支座(7)转动连接，所述第二转轴(101)上设有弧形板(10)，所述弧形板(10)固定连接在第二转轴(101)上，所述弧形板(10)的弧形面上设有若干齿条(13)，所述齿条(13)均固定连接在弧形板(10)上，所述弧形板(10)齿轮(8)与齿条(13)相互啮合，所述弧形板(10)远离齿轮(8)的一端设有探头(14)，所述探头(14)与弧形板(10)固定连接，所述探头(14)的顶端设有接线头(15)，所述接线头(15)固定连接在探头(14)上，所述探头(14)的下方设有单晶段(17)，所述单晶段(17)设置在底座(1)上，所述底座(1)上设有显示器(18)，所述显示器(18)固定连接在底座(1)上，所述显示器(18)接口端电性连接有导线(16)，所述显示器(18)通过导线(16)与接线头(15)电性连接。