[实用新型]一种应用于HIT及HJT工艺的干燥炉传动装置

摘要

本实用新型公开了一种应用于HIT及HJT工艺的干燥炉传动装置，包括传输链条，所述传输链条上固定设置有用于立式放置硅片的支撑装置。该传动装置可立式传输硅片，从而使得使硅片能够通过立式的方式进行烘干烧结，提高了硅片烧结的均匀性及成品率；而且硅片放置平稳可靠，使得硅片的传输平稳可靠，该传动装置结构简单，易于安装维护。

主权项

1.一种应用于HIT及HJT工艺的干燥炉传动装置，包括传输链条，其特征在于：所述传输链条上固定设置有用于立式放置硅片的支撑装置，所述传动装置还包括主动轮和从动轮，所述主动轮和所述从动轮均能够转动地设置，所述传输链条套设在所述主动轮和所述从动轮上，所述传输链条分别与所述主动轮和所述从动轮相啮合，所述传动装置还包括用于驱动所述主动轮转动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动电机、主驱动轮、从驱动轮及驱动链条，所述主驱动轮和所述从驱动轮均能够转动地设置，所述驱动电机驱动所述主驱动轮转动，所述驱动链条分别与所述主驱动轮和所述从驱动轮相啮合，所述驱动装置还包括驱动轴，所述从驱动轮与所述驱动轴固定连接，所述主动轮固定设置在所述驱动轴上。