[实用新型]用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置有效
申请号: | 201821624629.3 | 申请日: | 2018-10-06 |
公开(公告)号: | CN208848100U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 初瑞清;徐志军;贺笑春 | 申请(专利权)人: | 烟台大学 |
主分类号: | G05D23/22 | 分类号: | G05D23/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 264005 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于声表面波滤波器生产技术领域,公开了一种用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置及控温方法。用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置包括精密阻抗分析仪、保温仓和温度采集单元,精密阻抗分析仪的测试端放置有待测的SAW器件;保温仓包括箱体和控制箱体内部温度的温度控制器,精密阻抗分析仪的测试端与保温仓的内壁连接;温度采集单元包括置于箱体内部的第一温度传感器和靠近精密阻抗分析仪的测试端的第二温度传感器。控温方法应用于上述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置中。本实用新型提供的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置及控温方法,解决现有技术中存在的传感时间长、测量精度差、不能原位测量等问题。 | ||
搜索关键词: | 反谐振频率 谐振 控温装置 测量 阻抗分析 精密 保温仓 控温 温度采集单元 本实用新型 测试端 第二温度传感器 第一温度传感器 声表面波滤波器 温度控制器 阻抗分析仪 控制箱体 内壁连接 生产技术 箱体内部 原位测量 传感 测试 | ||
【主权项】:
1.一种用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置,其特征在于,包括:精密阻抗分析仪(1),所述精密阻抗分析仪(1)的测试端(11)放置有待测的SAW器件;保温仓(2),包括箱体(21)和控制所述箱体(21)内部温度的温度控制器(22),所述精密阻抗分析仪(1)的测试端(11)与所述箱体(21)的内壁连接;温度采集单元,包括置于所述箱体(21)内部的第一温度传感器(31)和靠近所述精密阻抗分析仪(1)的测试端(11)的第二温度传感器(32)。
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