[实用新型]一种c向蓝宝石晶体的生长设备有效
| 申请号： | 201821560721.8 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN208949444U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;李铁;阎哲华 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种c向蓝宝石晶体的生长设备，它包括炉体、坩埚、坩埚盖、炉盖、籽晶杆、发热体、保温结构、双层顶部电极和双层底部电极，坩埚盖为不同内径的同心钼圆环通过钼螺杆连接叠加组成，同心钼圆环均匀间距设置，且与坩埚的结构匹配，籽晶杆设置在坩埚上部，保温结构包括侧反射屏、侧隔热层、上部隔热层和底部隔热层，侧反射屏设置在坩埚外侧，侧隔热层设置在侧反射屏外侧，上部隔热层设置在坩埚盖上方，底部隔热层设置在双层底部电极下方；发热体包括双层上发热体和双层下加热体，分别连接设置在炉内双层顶部电极和双层底部电极上，双层上发热体和双层下加热体衔接部分为直角三角形结构，且不接触。本实用新型设置双层上下分段式发热体，通过调节发热功率比值，能够有效、快速调节温度梯度，保证合理的温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 隔热层 坩埚 底部电极 发热体 反射屏 坩埚盖 本实用新型 蓝宝石晶体 保温结构 上发热体 生长设备 双层顶部 温度梯度 下加热体 籽晶杆 电极 圆环 同心 直角三角形结构 发热功率 间距设置 结构匹配 快速调节 连接设置 螺杆连接 不接触 分段式 炉盖 炉内 炉体 叠加 衔接 保证 | ||
【主权项】：
1.一种c向蓝宝石晶体的生长设备，它包括炉体、坩埚、坩埚盖、炉盖、籽晶杆、发热体和保温结构，其特征在于它还包括双层顶部电极和双层底部电极，坩埚盖为不同内径的同心钼圆环通过钼螺杆连接叠加组成，同心钼圆环均匀间距设置，且与坩埚的结构匹配，籽晶杆设置在坩埚上部，保温结构包括侧反射屏、侧隔热层、上部隔热层和底部隔热层，侧反射屏设置在坩埚外侧，侧隔热层设置在侧反射屏外侧，上部隔热层设置在坩埚盖上方，底部隔热层设置在双层底部电极下方；发热体包括双层上发热体和双层下加热体，分别连接设置在炉内双层顶部电极和双层底部电极上，双层上发热体和双层下加热体衔接部分为直角三角形结构，且不接触。
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- 本实用新型公开了蓝宝石长晶炉钳锅上缘隔热屏，由环片串叠而成，每一片中心的开孔大小不同，开孔由上大到下小、呈不等比的缩小，从剖面看到所有中心开孔的位置呈圆弧线。本实用新型的开孔设计主要是为了改善熔汤表面温度梯度，使熔汤的梯度是由中心较大，向外变小。这样的设计可以使冷点更稳定地集中在中心位置，而且更有利地控制晶体横向的长晶速率，同时有效减缓边界效应，使蒸镀物分散凝结，改善长晶的提拉空间，是一种更优化的设计方案。
- 感应泡生法晶体生长装置-201820368330.X
- 何晓明;刘正伟;尹祥麟;张泽众;张欣瑶 - 夕心科技（上海）有限公司
- 2018-03-19 - 2018-11-02 - C30B17/00
- 本实用新型公开了一种感应泡生法晶体生长装置，包括提拉炉，其中，所述提拉炉内设有保温罩和保温桶，所述保温罩和保温桶之间形成有密闭的空腔，所述空腔的纵向高度小于横向宽度，所述保温桶内设有铱金坩埚，所述铱金坩埚外设有感应线圈进行加热，并在空腔中形成温度梯度变化。本实用新型提供的感应泡生法晶体生长装置，能够实现更大尺寸高温氧化物晶体制备，降低晶体制造成本，从而解决高温氧化物晶体生长的尺寸问题和产业化过程的投入成本问题。
- 一种用于晶体生长炉内的坩埚提取装置-201820523688.5
- 姚小琴 - 姚小琴
- 2018-04-06 - 2018-10-30 - C30B17/00
- 本实用新型公开了一种用于晶体生长炉内的坩埚提取装置，包括坩埚提取装置，所述的坩埚提取装置包括固定坩埚的夹紧装置和提起坩埚的受力装置，夹紧装置包括四个等距分布在坩埚周边的夹紧组件，每个夹紧组件包括沿竖直方向紧贴坩埚外壁的吊条，吊条的底端设有与其一体式的突出部，突出部与坩埚底部接触，每两个突出部之间均通过一根钢丝绳连接，且两根钢丝绳不相交，吊条的顶端焊接有作用于坩埚外壁的外夹紧件，外夹紧件的对面设有作用于坩埚内壁的内夹紧件，内夹紧件和外夹紧件通过横向螺栓进行夹紧，本实用新型的夹紧装置使得坩埚的取用更加安全。
- 一种复合式侧保温屏-201810496028.7
- 徐永亮;于海群;冯微;谭永奎 - 苏州恒嘉晶体材料有限公司
- 2018-05-22 - 2018-07-31 - C30B17/00
- 本申请提供的一种复合式侧保温屏，涉及泡生法蓝宝石单晶生长装置技术领域。包括由氧化锆砂砖组成的内筒、由氧化锆纤维砖或钼屏组件组成的中间保温层、由氧化铝空心球砖组成的外筒，三部分共同形成具有保温、隔热效果的复合式侧保温屏。氧化锆砂砖保温性能好，机械性能好，不易变形，使用周期长，成本低，便于安装；氧化锆纤维砖或钼屏可降低热场体系中的温度，保护外层氧化铝空心球砖；氧化铝空心球砖价格便宜，保温性能好；侧保温屏局部位置损坏时，可局部替换，不必整体替换，节约维修成本。通过本申请提供的复合式侧保温屏，能保证热场稳定性，降低蓝宝石长晶成本，节约能耗，延长单晶炉使用寿命，方便安装，具有一定的社会效益。
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