[实用新型]一种单晶硅棒晶向检测装置有效
| 申请号： | 201821553625.0 | 申请日： | 2018-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN209014544U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;沈文杰;陈德洋;卢嘉彬;周建灿;谢龙辉;张晟明 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 朱莹莹;周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅棒晶向检测装置，包括中转台、安装在中转台上并且在中转台上上下滑动的移动端夹头、位于移动端夹头的相对位置处并安装在中转台上的固定端夹头；中转台上还安装有一对用于测量晶棒棱线的晶棒棱测量组件，这一对晶棒棱测量组件用于在晶棒棱线检测时分别贴紧晶棒两端的侧面；固定端夹头通过旋转机构带动做360°旋转，从而带动固定端夹头上的晶棒旋转。本实用利用其设有的移动端夹头和固定端夹头将硅棒夹住，并通过各自设有的万向夹头机构在360°范围内小幅度自由调整，以适应装夹端面不平整的晶棒，从而保证晶棒的竖直装夹，消除了环境因素对测量结果的影响，检测结果更加可靠，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒 夹头 固定端 移动端 测量组件 单晶硅棒 检测装置 晶向 棱线 装夹 本实用新型 工作效率 环境因素 夹头机构 检测结果 上下滑动 旋转机构 自由调整 位置处 小幅度 中转台 硅棒 夹住 竖直 贴紧 万向 平整 测量 侧面 检测 保证 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：包括中转台、安装在中转台上并且在中转台上上下滑动的移动端夹头、位于移动端夹头的相对位置处并安装在中转台上的固定端夹头；所述中转台上还安装有一对用于测量晶棒棱线的晶棒棱测量组件，这一对晶棒棱测量组件用于在晶棒棱线检测时分别贴紧晶棒两端的侧面；所述固定端夹头通过旋转机构带动做360°旋转，从而带动固定端夹头上的晶棒的旋转。
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