[实用新型]一种晶圆流片生产用清洗装置

摘要

本实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置，其可方便对酒精进行使用，提高使用性；同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理，降低劳动程度；且可无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，增强使用效果；包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球；还包括按压泵，按压泵输出端位于放置架正上方；还包括盛放盒和支块，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件，放置架包括左调节件、左固定件、左转动轴、右调节件、右固定件和右转动轴，左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部。

主权项

1.一种晶圆流片生产用清洗装置，包括工作台（1）、放置盒（2）、放置架、清洗刷（3）和多组清洗棉球（4），放置架设置在工作台顶端前半区域上，放置盒设置在工作台顶端后侧，且放置盒内设置有放置腔，并在放置腔内盛放有酒精，放置盒顶端设置有取放口；其特征在于，还包括按压泵（30），按压泵设置在取放口上，且按压泵输出端位于放置架正上方，按压泵输入端位于放置腔内；还包括盛放盒（5）和支块（6），支块设置在工作台顶端，盛放盒底端设置有插槽，且支块顶端插入至插槽内部，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件（7），放置架包括左调节件（8）、左固定件、左转动轴（9）、右调节件、右固定件（10）和右转动轴，左调节件和右调节件分别设置在工作台顶端左部区域和右部区域上，且左调节件和右调节件分别位于盛放盒左右两侧，左转动轴和右转动轴分别设置在左调节件和右调节件上，左固定件左端中部和右固定件右端中部分别设置有左连接槽和右连接槽，且左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部，左固定件左端外侧和右固定件右端外侧分别与左调节件和右调节件接触，前支撑件和后支撑件分别设置在工作台顶端前半区域和后半区域上。