[实用新型]一种用于DBC基板自动曝光用的治具板有效
| 申请号： | 201821433016.1 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN209299589U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 王彬;贺贤汉;戴洪兴 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司;江苏富乐德半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工技术领域。一种用于DBC基板自动曝光用的治具板，包括治具板主体，治具板主体上开设有用于放置DBC基板的放置孔，治具板主体上开设有两个用于插入销钉的定位孔，定位孔的内径大于销钉的外径，其特征在于，治具板主体上还开设有两个用于辅助上菲林与下菲林对位的对位孔，对位孔的内径小于定位孔的内径，且对位孔的内径与销钉的外径相匹配；每个定位孔均相邻设置有一个对位孔；治具板主体上开设有对称设置在放置孔两侧的缺口，且缺口与放置孔导通。本专利的改良点在于：(1)将传统的两个定位孔改良为2个小孔(对位孔)以及2个大孔(定位孔)的结合，便于提高上菲林与下菲林对位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 定位孔 治具板 对位孔 放置孔 基板 销钉 自动曝光 下菲林 对位 菲林 半导体加工技术 改良 对称设置 相邻设置 传统的 大孔 导通 小孔 治具 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种用于DBC基板自动曝光用的治具板，包括治具板主体，所述治具板主体上开设有用于放置DBC基板的放置孔，所述治具板主体上开设有两个用于插入销钉的定位孔，所述定位孔的内径大于销钉的外径，其特征在于，所述治具板主体上还开设有两个用于辅助上菲林与下菲林对位的对位孔，所述对位孔的内径小于所述定位孔的内径，且所述对位孔的内径与所述销钉的外径相匹配；每个定位孔均相邻设置有一个对位孔；所述治具板主体上开设有对称设置在放置孔两侧的缺口，且缺口与所述放置孔导通。
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