[实用新型]一种新型气相沉积法制备石墨烯的生产装置

摘要

本实用新型涉及石墨烯的生产的技术领域，尤其涉及一种新型气相沉积法制备石墨烯的生产装置，包括传送架体、设置在传送架体上的传送装置、设置在传送架体的后边缘处的气相反应窑、以及设置在传送架体前方的机械手，所述的传送装置包括传送架体上设置的一圈传送带，所述的传送带沿着传送架体的边缘围成一圈和沿着传送架体的边缘进行顺时针传动。本实用新型结构简单、设计合理，可规模化生产高质量石墨烯，减少了对环境的污染。

主权项

1.一种新型气相沉积法制备石墨烯的生产装置，包括传送架体、设置在传送架体上的传送装置、设置在传送架体的后边缘处的气相反应窑、以及设置在传送架体前方的机械手，其特征在于：所述的传送装置包括传送架体上设置的一圈传送带，所述的传送带沿着传送架体的边缘围成一圈和沿着传送架体的边缘进行顺时针传动，所述的气相反应窑包括沿着传送架体的后边缘从左到右依次设置有窑体预热区、窑体加热反应区以及冷却区，所述的传送架体的后边缘处的传送带依次穿过窑体预热区、窑体加热反应区以及冷却区，所述的窑体预热区上设置有保护气体入口，所述的窑体加热反应区上设置有反应气体入口，所述的冷却区上设置有冷却气体入口，所述的机械手用于向传送带上装载半成品基材和从传送带上卸载码垛成品。