[实用新型]钨化硅装置覆盖环部件洗净溶射专用保护治具

摘要

本实用新型公开了一种钨化硅装置覆盖环部件洗净溶射专用保护治具，属于洗净溶射遮蔽技术领域，包括治具本体，所述治具本体为具有厚度的圆环状结构，其内侧为斜平面，所述斜平面上端与外覆盖台连接，所述外覆盖台水平设置；所述外覆盖台与中间定位台、下凸台依次连接，构成阶梯状结构，所述中间定位台与下凸台之间开有卡接凹槽；所述外覆盖台的最低水平面高于中间定位台的最低水平面，所述中间定位台的最低水平面高于下凸台的最低水平面；本实用新型可重复利用，遮蔽精度高，且不会污染待洗净溶射部件表面。

主权项

1.一种钨化硅装置覆盖环部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，包括治具本体，所述治具本体为具有厚度的圆环状结构，其内壁为斜平面，所述斜平面上端与外覆盖台连接，所述外覆盖台水平设置；所述外覆盖台与中间定位台、下凸台依次连接，构成阶梯状结构，所述中间定位台与下凸台之间开有卡接凹槽；所述外覆盖台的最低水平面高于中间定位台的最低水平面，所述中间定位台的最低水平面高于下凸台的最低水平面。