[实用新型]具备干冷扩散恒温箱的扩散炉

摘要

本实用新型提供了一种具备干冷扩散恒温箱的扩散炉，属于太阳能电池片制造设备技术领域。本具备干冷扩散恒温箱的扩散炉，包括炉体，炉体外侧壁上开设有进口，进口中设置有炉门，其特征在于，所述的炉门上开设有进气口一、进气口二和进气口三，进气口一、进气口二和进气口三中分别设有为炉体提供氮气的进气结构一、为炉体提供氧气的进气结构二和为炉体提供三氯氧磷的进气结构三，所述的进气结构三包括储存有液态三氯氧磷的扩散恒温箱、进气管道三、储氮副箱和连通管，扩散恒温箱中设置有温度传感棒且其底部设置有调温箱，温度传感棒与调温箱通过线路连接。本实用新型能够将液态三氯氧磷随氮气进入至扩散炉，使太阳能电池片形成大面积PN结。

主权项

1.具备干冷扩散恒温箱的扩散炉，包括内部具有炉腔的炉体，炉体外侧壁上开设有与炉腔相连通的进口，所述的进口呈圆形，进口中设置有呈圆形的炉门，其特征在于，所述的炉门上开设有进气口一、进气口二和进气口三，所述的进气口一、进气口二和进气口三中分别设有能够为炉体提供氮气的进气结构一、为炉体提供氧气的进气结构二和为炉体提供三氯氧磷的进气结构三，所述的进气结构三包括储存有液态三氯氧磷的扩散恒温箱、进气管道三、储氮副箱和连通管，所述进气管道三的一端与扩散恒温箱相连通，进气管道三的另一端与进气口三相连通，且进气管道三上设有能够调节气体流量大小的阀门三，所述连通管的一端与扩散恒温箱相连通，连通管的另一端与储氮副箱相连通，所述的扩散恒温箱中设置有温度传感棒，扩散恒温箱的底部设置有调温箱，温度传感棒与调温箱通过线路连接，所述炉体相对炉门的一端开设有出气口，所述的出气口中设有能够将炉腔抽成真空状态的抽空结构。