[实用新型]一种MOCVD机台尾气处理装置有效
| 申请号： | 201821129637.0 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN208711261U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 张飞;杨琳;郭晃亨;李政鸿;寻飞林;林兓兓;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D53/00;B01D53/02;C23C16/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种MOCVD机台尾气处理装置，包括安装于MOCVD机台尾气管路端的颗粒过滤器、与所述颗粒过滤器连接的收纳冷凝液化物质的回收装置、与所述回收装置连接的热交换器，以及与所述回收装置连接的容纳有冷却源的冷源装置；所述颗粒过滤器、回收装置以及热交换器均为包括内腔室和外腔室的双层结构；其中所述回收装置的外腔室进口端连接于所述冷源装置的出口端；所述回收装置内腔室进口端连接于所述颗粒过滤器内腔室的出口端，所述回收装置内腔室出口端连接于所述热交换器内腔室进口端；所述热交换器内腔室出口端连接于外围管路；所述热交换器外腔室出口端连接于颗粒过滤器外腔室进口端，所述热交换器外腔室进口端连接于颗粒过滤器外腔室出口端。 | ||
| 搜索关键词： | 回收装置 颗粒过滤器 外腔室 出口端 热交换器 进口端 内腔室 机台 热交换器内腔 尾气处理装置 冷源装置 冷凝液化 双层结构 外围管路 尾气管路 收纳 冷却源 室出口 室进口 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种MOCVD机台尾气处理装置，用于回收MOCVD机台生产过程中产生的尾气中的可利用物质，其特征在于：所述装置包括安装于MOCVD机台尾气管路端的颗粒过滤器、与所述颗粒过滤器连接的收纳冷凝液化物质的回收装置、与所述回收装置连接的热交换器，以及与所述回收装置连接的容纳有冷却源的冷源装置；所述颗粒过滤器、回收装置以及热交换器均为包括内腔室和外腔室的双层结构；其中所述回收装置的外腔室进口端连接于所述冷源装置的出口端；所述回收装置内腔室进口端连接于所述颗粒过滤器内腔室的出口端，所述回收装置内腔室出口端连接于所述热交换器内腔室进口端；所述热交换器内腔室出口端连接于外围管路；所述热交换器外腔室出口端连接于颗粒过滤器外腔室进口端，所述热交换器外腔室进口端连接于颗粒过滤器外腔室出口端；所述热交换器与所述颗粒过滤器之间形成热能回收利用的循环系统。
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