[实用新型]多系统Parylene真空冷却镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，属于电镀技术领域，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统，外循环冷却系统，真空沉积室内设有进气分流器和抽气分流器，控制面板分别与蒸发室、裂解室、真空系统、外循环冷却系统连接，蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔，蒸发腔的一端与裂解室连接，裂解室通过管路与真空沉积室内的进气分流器连接，真空沉积室内的抽气分流器通过管路与真空系统连接，真空沉积室外设有真空外壳冷循环水套，真空外壳冷循环水套接有外循环冷却系统。本实用新型扩大了Parylene薄膜的原料范围，同时以多种类型的Parylene固体为原料，为制备出多功能的复合Parylene薄膜提供了有效手段。

主权项

1.一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室（3）、真空沉积室（4）、真空系统（5），外循环冷却系统（7），所述真空沉积室（4）内设有进气分流器（8）和抽气分流器（9），所述控制面板分别与蒸发室、裂解室（3）、真空系统（5）、外循环冷却系统（7）连接，所述蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔（1），所述蒸发腔（1）的一端与裂解室（3）连接，所述裂解室（3）通过管路与真空沉积室（4）内的进气分流器（8）连接，所述真空沉积室（4）内的抽气分流器（9）通过管路与真空系统（5）连接，所述真空沉积室（4）外设有真空外壳冷循环水套（10），所述真空外壳冷循环水套（10）接有外循环冷却系统（7）。