[实用新型]多系统Parylene真空冷却镀膜机有效
| 申请号： | 201821043007.1 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208604207U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张卫兴;张振兴;钱雪冰 | 申请（专利权）人： | 江苏可润光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空沉积 分流器 裂解室 外循环冷却系统 真空系统 蒸发室 本实用新型 控制面板 真空冷却 真空外壳 镀膜机 多系统 冷循环 蒸发腔 室内 抽气 进气 水套 电镀技术领域 真空沉积室 并列设置 有效手段 制备 室外 复合 | ||
1.一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室（3）、真空沉积室（4）、真空系统（5），外循环冷却系统（7），所述真空沉积室（4）内设有进气分流器（8）和抽气分流器（9），所述控制面板分别与蒸发室、裂解室（3）、真空系统（5）、外循环冷却系统（7）连接，所述蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔（1），所述蒸发腔（1）的一端与裂解室（3）连接，所述裂解室（3）通过管路与真空沉积室（4）内的进气分流器（8）连接，所述真空沉积室（4）内的抽气分流器（9）通过管路与真空系统（5）连接，所述真空沉积室（4）外设有真空外壳冷循环水套（10），所述真空外壳冷循环水套（10）接有外循环冷却系统（7）。
2.根据权利要求1所述的多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，所述蒸发腔（1）分别设有温度控制器，所述温度控制器与控制面板连接。
3.根据权利要求1所述的多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，所述蒸发腔（1）的一端通过管路（2）与裂解室（3）连接。
4.根据权利要求1所述的多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，所述蒸发腔（1）、裂解室（3）外共同罩有壳体（6）。
5.根据权利要求1所述的多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，所述进气分流器（8）和抽气分流器（9）上分别设有抽气系统，所述抽气系统与控制面板连接。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
