[实用新型]一种基于视觉系统的高精密对位装置

摘要

本实用新型涉及精密机械及电子技术技术领域，具体公开了一种基于视觉系统的高精密对位装置，包括减震台、精密对位平台和视觉检测装置；所述精密对位平台包括动平台、定平台和驱动机构；所述动平台设于定平台的上方；动平台与定平台相互平行；所述定平台与动平台之间设置有导向机构；所述视觉检测装置包括工业相机、光源和相机支架；所述相机支架的底部安装于减震台上，其顶部安装有工业相机和光源。本实用新型通过视觉系统辅助，闭环控制对位平台，避免了由于平台存在一定零件尺寸加工误差、机构装配误差、运动间隙误差以及控制器驱动误差而造成的对位精密低的情况，确保对位平台实际对位位姿和目标位姿是高度一致。

主权项

1.一种基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，包括：减震台(10)、精密对位平台(20)和视觉检测装置(30)；所述精密对位平台(20)包括动平台(2)、定平台(1)和驱动机构；所述动平台(2)设于定平台(1)的上方；动平台(2)与定平台(1)相互平行；所述定平台(1)与动平台(2)之间设置有导向机构；所述视觉检测装置(30)包括工业相机(301)、光源(302)和相机支架(303)；所述相机支架(303)的底部安装于减震台(10)上，相机支架(303)的顶部安装有工业相机(301)和光源(302)；所述导向机构包括三套导向组件(3)；所述导向组件(3)包括第一直线运动导向元件(4)、第二直线运动导向元件(5)和回转运动导向元件(6)，第一直线运动导向元件(4)的导向方向与第二直线运动导向元件(5)的导向方向相互垂直，并且第一直线运动导向元件(4)中的固定件(8)与第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)相连，第一直线运动导向元件(4)中的活动件(7)通过回转运动导向元件(6)与动平台(2)相连，回转运动导向元件(6)可使动平台(2)相对于第一直线运动导向元件(4)的活动件(7)绕回转运动导向元件(6)的轴心线旋转，回转运动导向元件(6)的轴心线与Z向平行，第二直线运动导向元件(5)的固定件(8)与定平台(1)相连；其中一套导向组件(3)中的回转运动导向元件(6)与动平台(2)的几何中心相连，并且此导向组件(3)中的第一直线运动导向元件(4)对动平台(2)作X向导向，此导向组件(3)中的第二直线运动导向元件(5)对动平台(2)作Y向导向，驱动机构有三套，其中一套驱动机构驱动此第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)沿Y向移动，进而驱动动平台(2)沿Y向移动；另外两套导向组件(3)中的回转运动导向元件(6)分别与动平台(2)相连，并且此两回转运动导向元件(6)关于动平台(2)的对称中心中心对称，此两套导向组件(3)中的第一直线运动导向元件(4)对动平台(2)作Y向导向，此两套导向组件(3)中的第二直线运动导向元件(5)对动平台(2)作X向导向，并且另外两套驱动机构各自驱动一第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)沿X向移动，进而驱动动平台(2)沿X向移动；所述定平台(1)与视觉检测装置(30)都安装于减震台(10)上，视觉检测装置(30)的视觉检测部分位于动平台(2)上方。