[实用新型]一种电子显微镜真空样品台有效
申请号: | 201820986876.1 | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN208767252U | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 林国林;欧阳亮;洪丽川;邱晓滨 | 申请(专利权)人: | 厦门芯极科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电子显微镜真空样品台,包括连接座、样品连接杆和样品台;所述连接座、样品连接杆和样品台同轴设置,且样品连接杆位于中间;所述样品台包括盛放台、压紧片和固定件;所述压紧片通过固定件固定安装在盛放台上。本实用新型最有益的效果是,结构简单,操作便利通过简易的固定件就可以快速是实现芯片固定。适合推广使用。 | ||
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【主权项】:
1.一种电子显微镜真空样品台,其特征在于:包括连接座、样品连接杆和样品台;所述连接座、样品连接杆和样品台同轴设置,且样品连接杆位于中间;所述样品台包括盛放台、压紧片和固定件;所述压紧片通过固定件固定安装在盛放台上;所述连接座上设有2~8个密封槽;所述压紧片上设有一通孔;所述通孔直径为1mm~5mm;所述压紧片设有一凸环。
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