[实用新型]一种电子显微镜真空样品台有效

专利信息
申请号: 201820986876.1 申请日: 2018-06-26
公开(公告)号: CN208767252U 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 林国林;欧阳亮;洪丽川;邱晓滨 申请(专利权)人: 厦门芯极科技有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种电子显微镜真空样品台,包括连接座、样品连接杆和样品台;所述连接座、样品连接杆和样品台同轴设置,且样品连接杆位于中间;所述样品台包括盛放台、压紧片和固定件;所述压紧片通过固定件固定安装在盛放台上。本实用新型最有益的效果是,结构简单,操作便利通过简易的固定件就可以快速是实现芯片固定。适合推广使用。
搜索关键词: 固定件 连接杆 样品台 电子显微镜 连接座 压紧片 盛放 本实用新型 真空样品台 操作便利 同轴设置 芯片固定 简易
【主权项】:
1.一种电子显微镜真空样品台,其特征在于:包括连接座、样品连接杆和样品台;所述连接座、样品连接杆和样品台同轴设置,且样品连接杆位于中间;所述样品台包括盛放台、压紧片和固定件;所述压紧片通过固定件固定安装在盛放台上;所述连接座上设有2~8个密封槽;所述压紧片上设有一通孔;所述通孔直径为1mm~5mm;所述压紧片设有一凸环。
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