[实用新型]籽晶夹头有效
申请号: | 201820905511.1 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN208379047U | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 潘金平;余俊军;陈洪;杨国梁;王伟棱;郑春松;饶伟星 | 申请(专利权)人: | 浙江海纳半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供一种籽晶夹头,被用于固定在侧壁顶部设置有籽晶缺口的籽晶:包括插销、中空的夹头本体和中空的石墨套;所述石墨套底部设置有向外侧凸起的石墨套卡台,石墨套侧壁设置有连通石墨套内部的石墨套缺口;所述夹头本体底部设置有与石墨套配合使用的凹槽,夹头本体侧壁上设置有与石墨套缺口配合使用的凹槽缺口;所述凹槽缺口与凹槽连通;所述石墨套卡台与夹头本体底部抵接,石墨套伸入凹槽中,凹槽缺口与石墨套卡口连通形成销通道;所述籽晶的顶部伸入石墨套中,籽晶缺口与销通道连通,插销经过销通道后插入籽晶缺口内。本实用新型长期使用后,石墨套孔径逐渐变大,可以直接更换石墨套,更换方便,造价便宜。 | ||
搜索关键词: | 石墨套 籽晶 夹头本体 凹槽缺口 本实用新型 插销 中空的 侧壁 卡台 伸入 连通 凹槽连通 侧壁顶部 通道连通 逐渐变大 籽晶夹头 抵接 夹头 卡口 凸起 有向 种籽 | ||
【主权项】:
1.籽晶夹头,被用于固定在侧壁顶部设置有籽晶缺口(41)的籽晶(4),其特征在于:包括插销(3)、中空的夹头本体(1)和中空的石墨套(2);所述石墨套(2)底部设置有向外侧凸起的石墨套卡台(21),石墨套(2)侧壁设置有连通石墨套(2)内部的石墨套缺口(22);所述夹头本体(1)底部设置有与石墨套(2)配合使用的凹槽(11),夹头本体(1)侧壁上设置有与石墨套缺口(22)配合使用的凹槽缺口(13);所述凹槽缺口(13)与凹槽(11)连通;所述石墨套卡台(21)与夹头本体(1)底部抵接,石墨套(2)伸入凹槽(11)中,凹槽缺口(13)与石墨套卡口(23)连通形成销通道;所述籽晶(4)的顶部伸入石墨套(2)中,籽晶缺口(41)与销通道连通,插销(3)经过销通道后插入籽晶缺口(41)内。
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