[实用新型]扩散炉炉口排风装置

摘要

本实用新型实施例中提供了一种扩散炉炉口排风装置，所述扩散炉炉口排风装置包括：排风罩、多个排风管和接液盘；所述排风罩设置有炉管开口和多个排风口；所述多个排风管与所述多个排风口连通；所述接液盘设置于所述炉管开口下方，与所述排风罩贴合连接。本实施例中的扩散炉炉口排风装置可以承接炉管炉口冷凝形成的偏磷酸废液，防止偏磷酸废液滴溅至下方扩散炉或机台上，避免偏磷酸废液污染硅片及碳化硅桨等，有效提升了硅片生产良率；且还可以避免偏磷酸废液腐蚀扩散设备内部供电线路，大幅度降低了扩散设备的短路风险。

主权项

1.一种扩散炉炉口排风装置，所述装置包括：排风罩(100)和多个排风管(200)，其中：所述排风罩(100)设置有炉管开口(101)和多个排风口(102)；所述多个排风管(200)与所述多个排风口(102)连通；其特征在于，所述装置还包括接液盘(300)，所述接液盘(300)设置于所述炉管开口(101)下方，与所述排风罩(100)贴合连接。