[实用新型]单晶炉用外部化料装置有效
| 申请号： | 201820666475.8 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN208440723U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 蒋国庆 | 申请（专利权）人： | 蒋国庆 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人： | 肖兴坤 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉用外部化料装置，单晶炉包括外部加料器、主炉室坩埚和立柱，它包括化料器、升降驱动装置和旋臂，化料器的上端与外部加料器相连通，以便将外部加料器中的硅料加入化料器中，所述化料器的下端与主炉室坩埚相连通，以便熔化后的硅料进入主炉室坩埚中；化料器连接在升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过升降驱动装置驱动化料器上升至不干涉主炉室坩埚上升的位置；所述旋臂铰接在立柱上，所述升降驱动装置连接在旋臂上。本实用新型与外部加料器配合可以使得单晶炉实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五至六根晶棒，且拆卸方便，可减少冷却、拆炉、装炉的时间，提高了生产效率，也减少了热量的流失。 | ||
| 搜索关键词： | 化料器 主炉室 坩埚 升降驱动装置 单晶炉 加料器 外部 旋臂 本实用新型 化料装置 硅料 立柱 熔化 拆卸方便 生产效率 加料 拉制 上端 拆炉 铰接 晶棒 拉晶 下端 装炉 冷却 驱动 干涉 配合 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉用外部化料装置，单晶炉包括外部加料器(10)、主炉室坩埚(20)和立柱(30)，其特征在于：它包括：用于熔化硅料的化料器(1)，所述化料器(1)的上端与外部加料器(10)相连通，以便将外部加料器(10)中的硅料加入化料器(1)中，所述化料器(1)的下端与主炉室坩埚(20)相连通，以便熔化后的硅料进入主炉室坩埚(20)中；用于驱动化料器(1)升降的升降驱动装置，所述化料器(1)连接在升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过升降驱动装置驱动化料器(1)上升至不干涉主炉室坩埚上升的位置；用于带动化料器(1)和升降驱动装置一起转动的旋臂(2)，所述旋臂(2)铰接在立柱(30)上，所述升降驱动装置连接在旋臂(2)上。
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