[实用新型]铸锭炉热场结构有效
| 申请号： | 201820641205.1 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208266301U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 田野;居发亮 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种铸锭炉热场结构，用于铸锭晶体硅锭，包括：炉体；隔热笼体，设置在所述炉体的内部，其中，所述隔热笼体包括固定的上隔热笼，以及可相对上隔热笼升降的下隔热笼；可升降的隔热底板，与所述隔热笼体可形成密闭空间；热交换台，设置在所述隔热底板的上方；坩埚，放置在所述热交换台上；顶加热器，设置在所述坩埚的上方；侧加热器，设置在所述坩埚的外侧。上述铸锭炉热场结构中，隔热笼体分成固定的上隔热笼和可升降的下隔热笼，在长晶过程中，通过移动下隔热笼，使得侧部加热器上半部分的热量能够有效地散失，防止热应力的产生，从而能够更有效地控制晶体生长后的固液界面，更加精确地控制晶体生长周期以及晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 隔热笼体 热场结构 上隔热笼 下隔热笼 铸锭炉 坩埚 隔热底板 固定的 可升降 炉体 热交换 本实用新型 侧部加热器 有效地控制 侧加热器 顶加热器 固液界面 晶体硅锭 晶体生长 控制晶体 密闭空间 热交换台 生长周期 热应力 有效地 铸锭 升降 移动 | ||
【主权项】：
1.一种铸锭炉热场结构，用于铸锭晶体硅锭，其特征在于，包括：炉体；隔热笼体，设置在所述炉体的内部，其中，所述隔热笼体包括固定的上隔热笼，以及可相对上隔热笼升降的下隔热笼；可升降的隔热底板，与所述隔热笼体可形成密闭空间；热交换台，设置在所述隔热底板的上方；坩埚，放置在所述热交换台上；顶加热器，设置在所述坩埚的上方；侧加热器，设置在所述坩埚的外侧。
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