[实用新型]一种通过滚轮实现均匀压印的纳米压印设备有效
| 申请号： | 201820403759.8 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN207908855U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区长城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种通过滚轮实现均匀压印的纳米压印设备，包括工作台、用于带动工作台做左右移动的移动平台，所述工作台的上方固定有用于放置基板的托盘，还包括底部设有纳米结构的软模板、用于支撑软模板于基板上方的支撑单元；滚压单元包括滚轮总成和带动滚轮总成做上下移动的滚轮驱动装置，还包括控制单元，所述控制单元分别与支撑单元驱动装置、移动平台、滚轮驱动装置做电连接；实现软模板与涂抹在基板上的压印胶线性、顺次接触压印，压印力分布更加均匀，用较小的压印力就能使模板结构完全转印到基板上的压印胶上，压印过程中陷入的气泡能够被及时排出。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 软模板 工作台 滚轮驱动装置 纳米压印设备 滚轮总成 移动平台 支撑单元 压印胶 压印力 滚轮 压印 滚压 本实用新型 托盘 模板结构 纳米结构 驱动装置 上下移动 压印过程 左右移动 电连接 接触压 排出 转印 涂抹 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种通过滚轮实现均匀压印的纳米压印设备，其特征在于：包括工作台、用于带动工作台做左右移动的移动平台，所述工作台的上方固定有用于放置基板的托盘，还包括底部设有纳米结构的软模板、用于支撑软模板于基板上方的支撑单元；所述支撑单元包括分别设在托盘左右两侧且设在工作台上的左支撑单元和右支撑单元以及用于驱动左右支撑单元做上下移动的支撑单元驱动装置，所述左支撑单元用于搭载软模板的一端，所述右支撑单元用于固定软模板的另一端；所述右支撑单元的右侧设有滚压单元；所述滚压单元包括滚轮总成和带动滚轮总成做上下移动的滚轮驱动装置，还包括控制单元，所述控制单元分别与支撑单元驱动装置、移动平台、滚轮驱动装置做电连接。
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