[实用新型]一种真空镀膜工件转台有效
| 申请号： | 201820248903.5 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN207845770U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 汪剑飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市提姆光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谭雪婷;高早红 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜工件转台，包括固定板、支杆、第二转动板、第一转动板、第二转动齿轮和导向槽，所述固定板和第一转动板内壁均设置有滑槽，且固定板和第一转动板内壁均设置的滑槽分别与上转动板和第二转动板外壁固定的滑块滑动连接，所述第二转动板设置与第一转动板开设的连接槽内，且第二转动板下端固定有第二转动齿轮，所述第二转动齿轮与第一转动板上端安装的连接齿轮啮合连接，且连接齿轮另一端与第一齿轮啮合连接，所述第二转动板上端开设有导向槽。本实用新型通过设置固定板、支杆、第二转动板、第一转动板、第二转动齿轮和导向槽，解决了真空镀膜工件转台结构简单，在真空环境中气流流动小镀膜不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 转动板 转动齿轮 固定板 工件转台 真空镀膜 导向槽 本实用新型 连接齿轮 上端 滑槽 内壁 支杆 齿轮啮合 滑动连接 啮合连接 气流流动 上转动板 真空环境 不均匀 固定的 连接槽 镀膜 滑块 外壁 下端 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜工件转台，包括固定板(1)、支杆(3)、第二转动板(4)、第一转动板(5)、第二转动齿轮(7)和导向槽(19)，其特征在于：所述固定板(1)和第一转动板(5)内壁均设置有滑槽(10)，且固定板(1)和第一转动板(5)内壁均设置的滑槽(10)分别与上转动板(2)和第二转动板(4)外壁固定的滑块(6)滑动连接，所述第二转动板(4)设置与第一转动板(5)开设的连接槽(11)内，且第二转动板(4)下端固定有第二转动齿轮(7)，所述第二转动齿轮(7)与第一转动板(5)上端安装的连接齿轮(8)啮合连接，且连接齿轮(8)另一端与第一齿轮(9)啮合连接，所述第一齿轮(9)通过连杆(13)与第二齿轮(14)连接，且第二齿轮(14)与第一转动板(5)下端固定的主动齿轮(12)啮合连接，所述第二转动板(4)上端开设有导向槽(19)，且导向槽(19)内部设置有弹簧(17)，所述弹簧(17)上端设置有推板(18)，所述支杆(3)两端固定有导向头(16)，且支杆(3)外部固定有挂架(15)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市提姆光电科技有限公司，未经深圳市提姆光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820248903.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于光电技术的中片镀膜伞
- 下一篇：一种真空镀膜产品放置架
- 同类专利
- 专利分类
