[实用新型]一种陶瓷结构、下电极及干蚀刻机有效
| 申请号： | 201820007702.6 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN207743194U | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 孟益 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 518108 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种陶瓷结构、下电极及干蚀刻机，涉及蚀刻机技术领域。其中，陶瓷结构包括至少两个陶瓷板，每个陶瓷板靠近相邻陶瓷板的一侧设有卡槽以及卡凸。两个相邻的陶瓷板，一个陶瓷板的卡凸卡接于另一个陶瓷板的卡槽。两个相邻的陶瓷板通过卡槽与卡凸的配合互相卡接在一起，使得在厚度方向上没有贯通缝隙的产生。其中，下电极包括上述陶瓷结构。其中，干蚀刻机包括上述下电极。本实用新型中，陶瓷板一侧卡槽与卡凸的配合设置，使得两个相邻的陶瓷板之间在厚度方向上没有贯通缝隙的产生，有效避免了在蚀刻作业时，等离子体透过陶瓷板之间的缝隙钻倒下电极的衬底板上,发生尖端放电效应，致使下电极被击伤，造成干蚀刻机发生故障停机。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷板 下电极 干蚀刻机 陶瓷结构 卡槽 卡凸 本实用新型 贯通缝隙 等离子体 尖端放电效应 蚀刻 发生故障 配合设置 相邻陶瓷 衬底板 蚀刻机 电极 卡接 停机 凸卡 配合 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷结构，其特征在于，包括至少两个陶瓷板，每个陶瓷板靠近相邻陶瓷板的一侧设置有卡槽以及卡凸，两个相邻的陶瓷板中，一个陶瓷板的卡凸卡接于另一个陶瓷板的卡槽内，两个相邻的陶瓷板通过卡槽与卡凸的配合互相卡接在一起。
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