[发明专利]设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置有效
| 申请号： | 201811653642.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN110942970B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 高原敏浩;河田悦郎;岸良贵通;冈崎丈浩;藤原延崇;胜冶笃史;中村谦太 | 申请（专利权）人： | 阿德特克等离子技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/38 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阻抗匹配装置，即使在负载的阻抗连续地发生变化的情况下，也能够在早期改善高频电源与负载之间的阻抗不匹配。本发明的阻抗匹配装置被设置于高频电源系统中，该高频电源系统构成为经由机械地变更常数的匹配器将高频电源的输出供给至负载，阻抗匹配装置具备：匹配状态值取得部，取得表示高频电源与负载之间的匹配状态的匹配状态值；和控制部，基于匹配状态值控制高频电源的振荡频率。若匹配状态值表示匹配状态的恶化，则控制部在以第一斜率使振荡频率朝向匹配状态得以改善的方向发生变化后，以比第一斜率缓慢的第二斜率使振荡频率复原。 | ||
| 搜索关键词： | 置于 高频 电源 系统 中的 阻抗匹配 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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