[发明专利]一种实时监测显影过程的装置在审
| 申请号： | 201811632703.0 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109541894A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 姜岩秀;李文昊;吴娜;郑钟铭;杨硕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G02B5/32;G02B5/18 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种实时监测显影过程的装置，包括显影模块、衍射光接收模块和监测模块，显影模块包括显影罐、以及设于显影罐上的光栅定位组件，该光栅定位组件用于将光栅固定在显影罐中进行显影；衍射光接收模块包括激光器和光电接收器，激光器用于发出激光束照射光栅，光电接收器用于接收激光束照射光栅后从光栅衍射出的光信号，并将光信号转换为电信号；监测模块包括与光电接收器连接的数据处理器、和与数据处理器连接的显示器，所述光电接收器接收到的光信号经过所述数据处理器处理后在所述显示器上显示为衍射光的强弱变化曲线。通过该装置，可以直接从该曲线上确定显影截止点，得到高质量的全息光栅掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 光电接收器 数据处理器 光栅 衍射光 显影 激光束照射 光栅定位 监测模块 接收模块 实时监测 显影过程 显影模块 激光器 显影罐 显示器 光信号转换 光栅衍射 强弱变化 全息光栅 截止点 掩模 | ||
【主权项】：
1.一种实时监测显影过程的装置，其特征在于，包括显影模块、衍射光接收模块和监测模块，所述显影模块包括显影罐、以及设于所述显影罐上的光栅定位组件，所述光栅定位组件用于将光栅固定在显影罐中进行显影；所述衍射光接收模块包括激光器和光电接收器，所述激光器用于发出激光照射所述光栅，所述光电接收器用于接收激光照射所述光栅后从所述光栅衍射出的光信号；所述监测模块包括与所述光电接收器连接的数据处理器、和与所述数据处理器连接的显示器，所述光电接收器接收到的光信号经过所述数据处理器处理后在所述显示器上显示为衍射光的强弱变化曲线。
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