[发明专利]一种TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201811612015.8 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109735803B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 郑李娟;郭光宇;王成勇;赖志伟;杨简彰 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;科汇纳米技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法，涉及刀具涂层领域，该刀具包括依次沉积于刀具基体表面的CrN结合层、TiSiN‑TiSiYN梯度层、TiSiYN功能层,所述CrN结合层的厚度为0.1‑1um；所述TiSiN‑TiSiYN梯度层为不同Y含量叠层结构，所述Y含量随着涂层叠层增加而增加，每个叠层包括TiSiN子涂层和TiSiYN子涂层，每个叠层厚度为0.1‑0.5um,叠层层数为1‑5层，TiSiN‑TiSiYN梯度层厚度为0.1‑2.5um；所述TiSiYN功能层厚度为0.5‑2um；所述TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层的总厚度为1‑5um，本发明在TiSiN涂层中加入Y元素可改善TiSiN涂层结构，有效提高涂层的结合力和耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tisiyn 多组元 复合 梯度 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层，其特征在于，包括依次沉积于刀具基体表面的CrN结合层、TiSiN‑TiSiYN梯度层、TiSiYN功能层，所述CrN结合层的厚度为0.1‑1um；所述TiSiN‑TiSiYN梯度层为不同Y含量叠层结构，所述Y含量随着涂层叠层增加而增加，每个叠层包括TiSiN子涂层和TiSiYN子涂层，每个叠层厚度为0.1‑0.5um,叠层层数为1‑5层，TiSiN‑TiSiYN梯度层厚度为0.1‑2.5um；所述TiSiYN功能层厚度为0.5‑2um；所述TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层的总厚度为1‑5um。
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