[发明专利]柔性储能薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201811611926.9 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110660584B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;王志建;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | H01G4/002 | 分类号： | H01G4/002;H01G4/005;H01G4/12;H01G4/33;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 李丽华 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性储能薄膜的制备方法。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；在所述柔性金属衬底上沉积形成钛酸锶薄膜预制层；对带有钛酸锶薄膜预制层的柔性金属衬底进行热处理得到钛酸锶层，从而得到柔性储能薄膜。该储能薄膜采用钛酸锶材料，通过该制备方法实现储能薄膜的柔性化。同时，制备得到的储能薄膜具有高介电常数、低介电损耗、高击穿场强和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性储能薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n提供一柔性金属衬底；/n在所述柔性金属衬底上沉积形成钛酸锶薄膜预制层；/n对带有钛酸锶薄膜预制层的柔性金属衬底进行热处理得到钛酸锶层，从而得到柔性储能薄膜。/n
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