[发明专利]一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法

摘要

一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法，它涉及真空压力传感器测量技术领域，它包括真空泵组、真空舱、真空计、集气瓶、减压阀及调节阀；真空舱二和真空舱四之间布置有与二者连通的真空舱三，真空舱一、真空舱二和真空舱三上分别安装有一个真空计；真空舱三与集气瓶连接且二者连接的管路上安装有减压阀、调节阀八和调节阀九；真空泵组与真空舱一之间、真空舱一与真空舱二之间、真空舱二与真空舱三之间、真空舱三与真空舱四之间分别设置有调节阀一、调节阀四、调节阀六和调节阀七。校准方法包括：一、抽真空；二、被测传感器加压循环测试。本发明用以对传感器进行加速寿命试验，能实现提高传感器可靠性和稳定性的目的。

主权项

1.一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置，其特征在于：它包括真空泵组(1)、真空舱、真空计(3)、集气瓶(4)、减压阀(5)及调节阀；所述真空舱分别为真空舱二(22)、真空舱三(23)、真空舱四(24)和用于校准的真空舱一(21)；真空泵组(1)分别与真空舱一(21)和真空舱二(22)连接，真空舱二(22)和真空舱四(24)之间布置有与二者连通的真空舱三(23)，真空舱一(21)、真空舱二(22)、真空舱三(23)和真空舱四(24)串接在一起，真空舱一(21)、真空舱二(22)和真空舱三(23)上分别安装有一个真空计(3)；所述调节阀分别为调节阀一(K1)、调节阀二(K2)、调节阀三(K3)、调节阀四(K4)、调节阀五(K5)、调节阀六(K6)、调节阀七(K7)、调节阀八(K8)、调节阀九(K9)和调节阀十(K10)；真空舱三(23)与集气瓶(4)连接且二者连接的管路上安装有减压阀(5)、调节阀八(K8)和调节阀九(K9)；真空舱三(23)和集气瓶(4)经调节阀八(K8)与大气相同；真空舱一(21)上设置有调节阀二(K2)；真空泵组(1)与真空舱一(21)之间、真空舱一(21)与真空舱二(22)之间、真空舱二(22)与真空舱三(23)之间、真空舱三(23)与真空舱四(24)之间分别设置有调节阀一(K1)、调节阀四(K4)、调节阀六(K6)和调节阀七(K7)；真空舱一(21)与真空舱二(22)之间设置有调节阀三(K3)和调节阀十(K10)，被测传感器(8)与真空舱二(22)之间设置有调节阀五(K5)；被测传感器(8)和三个真空计(3)的信号输出端分别与显示面板的信号输入端连接。