[发明专利]一种硅基底类金刚石保护膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201811574807.0 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109576706A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 李刚;董力;杨伟声;张红梅;吴栋才;王春育;田湫 | 申请（专利权）人： | 云南北方驰宏光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/16;C23C14/30;C23C16/26 |
| 代理公司： | 西安东灵通专利代理事务所(普通合伙) 61242 | 代理人： | 朱玲 |
| 地址： | 655000 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基底类金刚石保护膜，包括硅基底、类金刚石保护膜及锗连接层；所述锗连接层设置于硅基底与类金刚石保护膜之间。本发明中的一种硅基底类金刚石保护膜，在硅基底与类金刚石保护膜之间设置了锗连接层，增强了类金刚石保护膜在硅基底上的附着力，特别是提高了硅基底边缘类金刚石保护膜的附着力，避免了边缘出现脱膜现象，实现类金刚石保护膜在硅基底上全口径稳定覆盖，降低废品率，节省生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 类金刚石 保护膜 硅基 连接层 附着力 脱膜现象 底边缘 全口径 制备 生产成本 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种硅基底类金刚石保护膜，其特征在于，包括硅基底、类金刚石保护膜及锗连接层；所述锗连接层设置于硅基底与类金刚石保护膜之间。
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