[发明专利]一种用于二维材料薄膜厚度测量的高效光学测量方法有效
| 申请号： | 201811548329.6 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109373918B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 高波;雷佳雨 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于二维材料薄膜厚度测量的高效光学测量方法。属于基于薄膜干涉效应的色彩计算以及图像处理技术领域。本发明方法包括在指定标准条件下基底与不同厚度待测二维材料薄膜的色彩计算过程，以及后续基于指定标准条件下色彩计算结果为标准，对实际成像结果的校准过程。本发明方法具有效率高、可靠性强、适用范围广的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 二维 材料 薄膜 厚度 测量 高效 光学 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于二维材料薄膜厚度测量的高效光学测量方法，其特征在于：所述的方法为在指定标准条件下基底与不同厚度待测二维材料薄膜的色彩计算过程，以及基于指定标准条件下色彩计算结果为标准，对实际成像结果的校准过程。
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