[发明专利]移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备在审
| 申请号： | 201811432480.3 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109333335A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 高林 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B57/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备，其中所述移动手臂，包括：包覆手臂主体的外壳以及位于外壳表面的液体收纳装置，所述液体收纳装置用于收纳积累在外壳上的液滴，并将收纳的液滴排到下排管中。本发明的移动手臂，能防止手臂上的液滴滴落到下方的研磨垫上。 | ||
| 搜索关键词： | 移动手臂 化学机械研磨 收纳 研磨设备 液体收纳 修整器 液滴 手臂 外壳表面 研磨垫 包覆 排管 积累 | ||
【主权项】：
1.一种移动手臂，其特征在于，包括：手臂主体、包覆手臂主体的外壳以及位于外壳表面的液体收纳装置，所述液体收纳装置用于收纳积累在外壳上的液滴，并将收纳的液滴排到下排管中。
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