[发明专利]一种硅片的高温压载装置及其应用有效
| 申请号： | 201811399304.4 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109612842B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;孙玉鑫;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N3/14 | 分类号： | G01N3/14;G01N3/18 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 韩聪 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片的高温压载装置及其应用，属于检测设备技术领域。所述高温压载装置，包括：加热炉，所述加热炉内部设置有固定待测硅片的测试台；位于测试台上方的压头；一端伸入加热炉内部的杠杆，所述杠杆伸入加热炉的头端部与压头活动连接；提升机构，与所述杠杆位于加热炉外的尾端部连接，测试时，杠杆的尾端部上抬，其头端部的压头垂直下降，压头因其自身重力对待测硅片进行压载。本发明采用简单的杠杆装置实现了高温下实时压载，持续压载过程中压头附近的应力场可以为位错运动提供更大的驱动力，使位错滑移距离相比于残余应力诱导位错滑移的结果更为显著，该装置设计简单、机械操作方便，能在高温环境下对材料实现可靠压载的机械强度表征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 高温 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种硅片的高温压载装置，其特征在于，包括：加热炉，所述加热炉内部设置有固定待测硅片的测试台；位于测试台上方的压头；一端伸入加热炉内部的杠杆，所述杠杆伸入加热炉的头端部与压头活动连接；提升机构，与所述杠杆位于加热炉外的尾端部连接；测试时，杠杆的尾端部上抬，其头端部的压头垂直下降，压头因其自身重力对待测硅片进行压载。
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