[发明专利]一种扫描宽带离子束注入机有效
| 申请号： | 201811381277.8 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111199859B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 彭立波;胡振东;易文杰;张赛;王迪平;袁卫华;许波涛;金则军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描宽带离子束注入机，包括旋转靶盘以及用于形成扫描宽带离子束的扫描宽带离子束形成组件，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，扫描宽带离子束形成组件形成的扫描宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 宽带 离子束 注入 | ||
【主权项】：
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