[发明专利]一种离子注入机中断后恢复注入状态的方法在审
| 申请号： | 201811309623.1 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111341635A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 周杨森 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机中断后恢复注入状态的方法，包括：续打界面程序(1)、数据库(2)、调度逻辑程序(3)、注入逻辑程序(4)。其中调度逻辑程序(3)和注入逻辑程序(4)是必须的软件环境，运行在一台正常进行加工的离子注入机上。续打界面程序(1)和数据库(2)是在平台基础上进行的二次开发。续打界面程序(1)和注入逻辑及程序通过和数据库(2)和调度逻辑程序(3)的交互，实现整个续打功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 断后 恢复 状态 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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