[发明专利]一种镀膜夹具及其载条和制作方法在审
| 申请号： | 201811301030.0 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109326551A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 王秋贞;匡华强 | 申请（专利权）人： | 江苏海德频率科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 陈晓华 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜夹具及其载条和制作方法，镀膜夹具包括从下到上依次设置的下盖板、下底板、上底板、下掩膜、定位片、上掩膜和上盖板。镀膜夹具的载条包括底座和若干导向条，该镀膜夹具及其载条和制作方法，在镀膜夹具中通过上底板上的磁铁，有效实现了对多层板的加固，对晶体实现固定，同时，镀膜夹具通过合理的尺寸设计，能够同时放置5个镀膜夹具在载条上，每套镀膜夹具可放置晶片数量672片，从而生产效率提高，镀膜效率提高，设备投入成本降低和水电气能源消耗降低；而且，配合设计公式，能够根据不同晶体特性要求和规格，进行不同规格的下掩膜、定位片和上掩膜的设计，提高了该镀膜夹具的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜夹具 掩膜 定位片 制作 水电气能源消耗 底板 设备投入成本 尺寸设计 镀膜效率 放置晶片 晶体特性 设计公式 生产效率 依次设置 有效实现 导向条 多层板 上底板 上盖板 下底板 下盖板 磁铁 底座 配合 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜夹具，其特征在于：包括从下到上依次设置的下盖板、下底板、上底板、下掩膜、定位片、上掩膜和上盖板。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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