[发明专利]加工设备在审
| 申请号： | 201811243543.0 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109801825A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 蓝咏萱;陈家玮 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 部分实施例提供一种加工设备。加工设备包括具有一气体出口的一加工腔。加工设备还包括一泵。泵与气体出口连通并配置通过气体出口从加工腔排出气体。加工设备还包括一交叠模块。交叠模块包括多个支撑元件和多个内部通气板。多个支撑元件沿一纵轴方向配置，并且每个内部通气板具有多个气孔。多个内部通气板中的至少一个位于彼此相邻设置的两个支撑构件之间。 | ||
| 搜索关键词： | 加工设备 气体出口 通气板 支撑元件 加工腔 交叠 排出气体 相邻设置 支撑构件 纵轴方向 配置 连通 | ||
【主权项】：
1.一种加工设备，包括：一加工腔，具有一气体出口；一泵，与该气体出口连通并配置通过该气体出口从该加工腔排出气体；以及一交叠模块，位于该泵与该气体出口之间，且包括：多个支撑元件，沿一纵轴方向配置；以及多个内部通气板，每一所述内部通气板具有多个气孔，其中所述内部通气板至少其中的一者位于彼此相邻设置的所述支撑构件的二者之间。
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